لماذا تُعد معالجة مياه الصرف الناتجة عن تقطيع الرقائق أكثر صعوبة مما تبدو؟
يستهلك مصنع متقدم واحد للخلايا الكهروضوئية أو أشباه الموصلات 2–4 million gallons من المياه يوميًا (وفقًا لبيانات قطاع VSEP)، وتمثل حلقة التقطيع بالمنشار السلكي أكبر تيار استهلاكي للمياه في الموقع. تستهدف معالجة مياه الصرف الناتجة عن تقطيع الرقائق تيار الملاط الكاشط الخارج من المناشير السلكية — وعادةً ما يكون كربيد السيليكون (SiC) في حامل من البولي إيثيلين غليكول (PEG) — إضافةً إلى المياه المعالجة الخارجة من عمليات التنظيف اللاحقة، التي تحتوي على مواد خافضة للتوتر السطحي وأحماض عضوية. ويستخدم خط المعالجة الحديث الترسيب الأولي لاسترداد SiC، والتهيئة الكيميائية، والتعويم بالهواء المذاب أو الترويق بالصفائح المائلة، ثم التصفية الفائقة أو التناضح العكسي، مما يتيح إعادة استخدام 90% من المياه وتحقيق مواد صلبة عالقة أقل من جزء في المليون في حلقة إعادة التدوير.
صُمم الملاط نفسه لتحقيق الأداء، وليس لسهولة الفصل. ويتراوح حمل المواد الصلبة بين 5–15 wt% على هيئة معلق مستقر من جسيمات SiC بحجم 50–300 nm في حامل PEG 200–400. ويمنح سائل الحامل الخليط لزوجة قدرها 80–200 cP عند 25°C، مما يحد من الترسيب ويرفع تكاليف طاقة الضخ. وتُعالَج الغرويات سطحيًا لمقاومة التكتل أثناء القطع، وهي الخاصية نفسها التي تعوق الترويق التقليدي في المراحل اللاحقة. فهي لا تترسب بفعل الجاذبية، وتتسبب في انسداد أغشية الجريان المتقاطع خلال دقائق من التشغيل، وتتطلب كيمياء زعزعة استقرار مقصودة قبل أن تعمل أي مرحلة لفصل المواد الصلبة عن السائل.
يجب على المهندسين الذين يحددون مواصفات المعالجة تحديد أي من نظامي التقطيع يعمل به مصنعهم أولًا، لأن تياري النفايات مختلفان جوهريًا. يعتمد النشر باستخدام ملاط الكاشط السائب — وهو النظام القديم — على حبيبات SiC معلقة في حامل PEG بتركيز عالٍ من المواد الصلبة. أما التقطيع بمنشار السلك الماسي (DWS)، وهو السائد في إنتاج الخلايا الكهروضوئية أحادية البلورة منذ نحو 2015، فيستخدم سائل تبريد غليكوليًا مائيًا لا يتجاوز فيه محتوى دقائق السيليكون 0.5–3% ولا يحتوي على كاشط حر. وتُعد معالجة التيارين بالخط نفسه أكثر أخطاء المواصفات شيوعًا في هذا السوق، وتؤدي منذ اليوم الأول إلى تحميل زائد على المروّقات أو تحميل منخفض على أنظمة الأغشية.
مياه صرف الملاط الكاشط السائب مقابل مياه صرف المنشار السلكي الماسي: مقارنة مباشرة
يتمثل خطأ الاختيار الذي يكرر القطاع ارتكابه في افتراض إمكانية تمرير التيارين عبر المعالجة الأولية نفسها. وهذا غير ممكن. فملاط الكاشط السائب سائل لزج مرتفع المواد الصلبة، ويتطلب فصلًا حجميًا قبل إضافة أي مواد كيميائية؛ بينما يكون سائل تبريد المنشار السلكي الماسي مخففًا بما يكفي للتهيئة الكيميائية والتعويم منذ البداية. وتوضح المقارنة التالية القاعدة العملية لاختيار المرحلة الأمامية من خط المعالجة.
| المعلمة | الكاشط السائب (SiC + PEG) | المنشار السلكي الماسي (DWS) |
|---|---|---|
| محتوى المواد الصلبة | 5–15 wt% SiC | 0.5–3% دقائق سيليكون |
| سائل الحامل | PEG 200–400 (لزج، 80–200 cP) | ماء + سائل تبريد غليكولي (1–5 cP) |
| الملوث السائد | حبيبات SiC، وPEG، وآثار معادن | دقائق السيليكون، ومادة خافضة للتوتر السطحي، وحمض عضوي |
| الأكسجين الكيميائي المطلوب (COD) عادةً | 10,000–30,000 mg/L | 2,000–8,000 mg/L |
| حجم الجسيمات | 5–20 µm SiC | 0.5–5 µm Si |
| إعادة الاستخدام المستهدفة | 85–90% (استرداد SiC + حلقة RO) | 90–95% (حلقة UF + RO) |
| المعالجة الأولية الموصى بها | جهاز طرد مركزي أفقي → ترسيب → كيمياء | تخثير/تلبيد → تعويم بالهواء المذاب أو صفائح مائلة |
قاعدة القرار بسيطة: إذا كان التيار ملاطًا لزجًا مرتفع المواد الصلبة، فوجهوه أولًا إلى جهاز طرد مركزي أفقي أو خزان ترسيب لاسترداد الكاشط وخفض حمل المواد الصلبة بنسبة 70–85% قبل أي مرحلة كيميائية. يحمل PEG كمية كبيرة من COD تمنع المعالجة البيولوجية المباشرة، كما أن اللزوجة العالية تحرم التعويم بالهواء المذاب من زمن صعود الفقاعات اللازم. وإذا كان التيار سائل تبريد مخففًا يحتوي على أقل من 3% من الدقائق، فتجاوزوا جهاز الطرد المركزي وأضيفوا مادة التخثير مباشرةً إلى نظام DAF لإزالة السيليكون الغروي أو إلى مروّق صفائحي لتلميع ملاط SiC. ويحدد هذا الاختيار الأمامي الواحد بقية قائمة المعدات.
خط المعالجة لعام 2026: من طاولة التقطيع إلى حلقة إعادة الاستخدام
يمر خط المعالجة المتكامل لمياه الصرف الناتجة عن تقطيع الرقائق في عام 2026 عبر خمس مراحل، لكل منها معلمات تصميم قابلة للقياس. وهذا هو التكوين الذي تحدده حاليًا معظم مصانع رقائق الخلايا الكهروضوئية في الصين وجنوب شرق آسيا للمشروعات الجديدة، كما يمثل مسار ترقية المصانع القديمة للانتقال من التصريف المستمر إلى إعادة الاستخدام في حلقة مغلقة.
| المرحلة | المعدات | معلمة التصميم | هدف الأداء |
|---|---|---|---|
| 1. الاسترداد الأولي لـ SiC/السيليكون | خزان ترسيب أو جهاز طرد مركزي أفقي (3,000–4,000 G) | HRT 2–4 h (المرسب)؛ 15–30 min (جهاز الطرد المركزي) | التقاط 70–85% من SiC؛ إعادة الكاشط المسترد إلى تحضير الملاط |
| 2. التهيئة الكيميائية | الجرعات الكيميائية التلقائية للتخثير باستخدام PAC + مادة تلبيد أنيونية | pH 7–8.5؛ PAC 50–200 mg/L؛ مادة التلبيد 0.5–2 mg/L | زعزعة استقرار الغرويات؛ جهد زيتا قريب من 0 mV |
| 3. فصل المواد الصلبة عن السائل | DAF (مواد صلبة عالقة منخفضة) أو مروّق صفائحي (أحمال أعلى) | زمن مكوث DAF 20–30 min؛ تحميل سطحي للصفائح 5–10 m³/m²·h | مواد صلبة عالقة TSS <50 mg/L بعد هذه المرحلة |
| 4. التلميع | مرشح متعدد الوسائط + UF | MMF 10–15 m/h؛ UF 0.01–0.1 µm عند 40–80 LMH, 0.2 MPa | العكارة <1 NTU؛ مؤشر كثافة الطمي SDI <3 لتغذية RO |
| 5. إعادة الاستخدام في حلقة مغلقة | نظام RO صناعي لإعادة الاستخدام في حلقة مغلقة (تمرير واحد أو تمريران) | استرداد RO 70–85%؛ التدفق 15–25 LMH | الموصلية <10 µS/cm؛ توجيه المركز إلى التبلور أو التبخير |
المرحلة 1 هي المرحلة التي تحقق عائدًا من SiC. فجهاز الطرد المركزي الأفقي الذي يعمل عند 3,000–4,000 G يلتقط 70–85% من الكاشط في كعكة قابلة للغسل يمكن إعادتها إلى تحضير الملاط، مما يقلل شراء 15–25% من SiC الجديد. وفي مصنع تدفقه 500 m³/h، تمثل هذه الكمية وزنًا مهمًا شهريًا.
المرحلة 2 تستخدم كلوريد الألومنيوم متعدد التكافؤ (PAC) بجرعة 50–200 mg/L مع مادة تلبيد أنيونية بجرعة 0.5–2 mg/L لتحييد الشحنة السطحية التي تُبقي الغرويات معلقة. ومن دون هذه المرحلة، لن يحقق أي مروّق أو غشاء لاحق الأداء المحدد في المواصفات.
المرحلة 3 تعتمد عملية الاختيار فيها على المياه الداخلة. ويتعامل DAF مع التيارات منخفضة المواد الصلبة العالقة (أقل من نحو 500 mg/L بعد الطرد المركزي) بفضل معدلات الصعود السريعة، بينما تتعامل المروّقات الصفائحية مع الأحمال الأعلى ضمن مساحة أصغر. وينبغي خفض المواد الصلبة العالقة في المياه المعالجة الخارجة إلى أقل من 50 mg/L قبل التلميع.
المرحلة 4 تحمي نظام RO. إذ يخفض المرشح متعدد الوسائط للتلميع المواد الصلبة السائبة، ثم يخفض UF 0.01–0.1 µm العكارة إلى أقل من 1 NTU ومؤشر كثافة الطمي إلى أقل من 3، وهو الحد التشغيلي الأعلى لأغشية RO الحلزونية.
المرحلة 5 هي حلقة إعادة الاستخدام. ويُنتج استرداد RO بنسبة 70–85% مياه نافذة مناسبة لمياه العمليات غير فائقة النقاء (تعويض برج التبريد، وشطف آلة النشر، والشطف الأولي للتنظيف النهائي). ويتجه المركز إلى مبخر التبلور أو إعادة ضغط البخار ميكانيكيًا (MVR) لمواقع التصريف السائل الصفري (ZLD)، أو إلى نظام RO جانبي أصغر يسترد 50% إضافية قبل التخلص من المحلول الملحي. وتُنزع المياه من الحمأة الخارجة من الجزء السفلي للمروّق الصفائحي باستخدام مكبس ترشيح لحمأة SiC حتى تصل المواد الصلبة الجافة إلى 25–35% للتخلص منها خارج الموقع أو طمرها.
معلمات العملية ومعايير قياس الأداء
هذه هي الأرقام التي يستخدمها المهندس لتحديد حجم المعدات، وكتابة المواصفات، والتحقق من عروض الموردين. وتعكس معايير الأداء خطًا متكاملًا يعمل بصورة صحيحة (مرسب/جهاز طرد مركزي + كيمياء + تعويم بالهواء المذاب/مروّق صفائحي + UF + RO)، وليس نتائج مرحلة واحدة (بيانات ميدانية من Zhongsheng، 2026).
| المعلمة | المياه الداخلة الخام | بعد DAF/المروّق الصفائحي | بعد UF | بعد RO (إعادة الاستخدام) |
|---|---|---|---|---|
| TSS (mg/L) | 5,000–15,000 | <50 | <2 | <1 |
| العكارة (NTU) | >10,000 | 10–30 | <1 | <0.5 |
| COD (mg/L) | 10,000–30,000 | 500–1,500 | 200–500 | <50 |
| BOD₅ (mg/L) | 6,000–20,000 | 300–900 | 100–300 | <20 |
| المتبقي من SiC (mg/L) | 5,000–12,000 | <30 | <5 | <1 |
| الموصلية (µS/cm) | 200–2,000 | 200–2,000 | 200–2,000 | <10 |
| pH | 5–9 | 7–8.5 | 7–8.5 | 6.5–7.5 |
يبلغ خفض المواد الصلبة العالقة عبر خط المعالجة الكامل 99.9% (من 10,000 mg/L في المياه الخام إلى أقل من 10 mg/L بعد التلميع). وتنخفض العكارة من أكثر من 10,000 NTU في الملاط الخام إلى أقل من 0.5 NTU بعد RO، وهو الحد اللازم لمياه تعويض حلقة المياه فائقة النقاء (UPW). وينخفض COD من 15,000 mg/L إلى أقل من 50 mg/L؛ ويتراوح BOD₅ بين 60 و70% من COD في تيارات التقطيع، مما يعني أن التلميع البيولوجي نادرًا ما يستحق المساحة المطلوبة عندما يكون RO موجودًا بالفعل في الخط.
نطاقات تشغيل الأغشية محدودة. يعمل UF عند 40–80 LMH وضغط عبر الغشاء قدره 0.2 MPa، مع غسل عكسي كل 30–60 minutes؛ بينما يعمل RO عند 15–25 LMH وضغط 1.0–1.5 MPa، مع تنظيف كيميائي كل 4–8 weeks. ويُعد تجاوز هذه التدفقات في مياه صرف التقطيع أسرع وسيلة لتلويث حزمة الأغشية. ويعمل نظام MBR المتكامل مع الحمل العضوي اللاحق الناتج عن تنظيف الرقائق، لكنه يمثل المرحلة الأولية الخاطئة للملاط الكاشط — راجع قسم الإطار لمعرفة السبب.
اقتصاديات إعادة استخدام المياه: استرداد 90% عمليًا
توفر أنظمة الاستصلاح لمعالجة السيليكون من Pall عادةً إعادة استخدام بنسبة 90% من مياه العمليات المستهلكة كمياه تغذية عالية الجودة (وفقًا لورقة بيانات Pall لعام 2026)، وأصبحت النسبة نفسها معيارًا للمصانع الجديدة لرقائق الخلايا الكهروضوئية في الصين. وتثبت حسابات فترة الاسترداد جدواها عندما تُسعّر المياه وفق المعدلات الصناعية وتكون مياه التعويض منزوعة الأيونات هي المحرك الأكبر للتكلفة.
| المتغير | الحالة المنخفضة | الحالة المرتفعة | الملاحظات |
|---|---|---|---|
| تكلفة المياه (USD/m³) | 1.50 | 3.00 | تعتمد على الموقع؛ أعلى في المناطق التي تعاني إجهادًا مائيًا |
| تدفق حلقة التقطيع (m³/h) | 500 | 500 | خط أساس لمصنع رقائق أحادية بقدرة نحو 50 MW |
| معدل إعادة الاستخدام | 90% | 90% | حلقة مغلقة UF + RO |
| المياه المعاد تدويرها سنويًا (مليون m³) | 3.6 | 3.6 | 500 × 24 × 330 × 0.90 / 1,000,000 |
| التوفير السنوي في تكلفة المياه (USD) | 5.4M | 10.8M | في المتوسط: نحو 7.2M USD/year |
| النفقات الرأسمالية للنظام (USD, 2026) | 2.8M | 4.5M | لا تشمل الأعمال المدنية ومبخر ZLD |
| فترة الاسترداد من المياه وحدها (أشهر) | 5 | 10 | لا تشمل إعادة بيع SiC والتوفير في المياه منزوعة الأيونات |
تؤدي الوفورات الثانوية إلى تقصير فترة الاسترداد أكثر. إذ يخفض تقليل مياه التعويض منزوعة الأيونات بنسبة 60–80% عدد دورات تجديد المياه منزوعة الأيونات وميزانية استبدال الراتنج. وتبلغ رسوم تصريف المياه المعالجة الخارجة في المدن الصينية من الدرجة الأولى حاليًا 0.3–0.8 USD/m³ من التصريف، ولذلك فإن خفض التصريف بنسبة 3.6 million m³/year يوفر 1.0–2.9M USD إضافية. كما يقلل SiC المسترد شراء الكاشط الجديد بنسبة 15–25%، بقيمة تتراوح بين 200–500k USD/year في مصنع تدفقه 500 m³/h. ويرد نقاش كامل حول اقتصاديات استرداد هذه الموارد في موجز استرداد الموارد والعائد على الاستثمار في معالجة مياه الصرف الصناعية.
ويتناول تحليل اتجاهات سوق معالجة مياه الصرف الصناعية لعام 2026 السياق الأوسع للسوق، بما في ذلك الإطار التنظيمي والرأسمالي لعام 2026. وتفيد المصانع التي أغلقت الحلقة بالفعل بفترة استرداد تتراوح بين 6 و10 أشهر من وفورات المياه وحدها، بينما تصل تكوينات التصريف السائل الصفري مثل دراسة حالة التصريف السائل الصفري لإزالة الفلوريد والسيليكا من مياه صرف مصنع الرقائق إلى متبقي فلوريد أقل من 0.5 mg/L وسيليكا أقل من 1 mg/L للتصريف أو تغذية جهاز التبلور.
اختيار المعدات: إطار قرار لعام 2026
ينبغي أن يستند اختيار المورد لمعالجة مياه التقطيع إلى ستة معايير، بهذا الترتيب. وتُعد قدرة التعامل مع الكاشط المرشح الأول؛ فإذا صُمم النظام المقترح لمعالجة المياه المعالجة الخارجة البلدية أو مياه الصناعات الغذائية، فلن يصمد أمام ملاط SiC.
- التعامل مع الكاشط: يجب أن يكون جهاز الطرد المركزي الأفقي مصنفًا للمواد الصلبة بنسبة 5–15 wt% مع لولب مقسّى؛ ويجب أن تكون المضخات مصنفة للملاط (تمرير مواد صلبة بنسبة ≥30%)؛ كما ينبغي تبطين الأنابيب بالمطاط أو استخدام HDPE للخدمة الكاشطة.
- هدف الاسترداد: حددوا التقاط 70–85% من SiC في المرحلة الأمامية وإعادة استخدام 90% من المياه في المرحلة الخلفية باعتبارهما مؤشري أداء تعاقديين منفصلين، لا مؤشرًا واحدًا مجمعًا.
- المساحة: طابقوا المعدات مع نظام التدفق: أقل من 20 m³/h → منصة معالجة جاهزة؛ من 20–100 m³/h → معدات معيارية داخل حاويات؛ أكثر من 100 m³/h → خزانات خرسانية مبنية في الموقع مع منصات مخصصة.
- مستوى الأتمتة: مجسات TSS والعكارة وpH والموصلية على الخط مع تغذية راجعة تلقائية لمادة التخثير. وتُعد الجرعات اليدوية السبب الأكبر لانحراف تغذية RO عن المواصفات في المصانع القديمة.
- دعم ما بعد البيع: فريق خدمة محلي يستجيب خلال 48 ساعة، ومخزون أغشية احتياطية، ومواد استهلاكية (مادة PAC، ومادة التلبيد، ومواد التنظيف الكيميائية) ضمن اتفاقية توريد مع المورد.
- مدة التوريد: من 12 إلى 20 أسبوعًا للمنصات المصممة هندسيًا في عام 2026؛ وأكثر من 30 أسبوعًا للمروّقات الخرسانية المخصصة. خططوا للمشتريات وفق موعد الإكمال الميكانيكي، لا تاريخ أمر الشراء.
تعتمد مواد التصنيع على طبيعة التيار. ويُعد SS316L الخيار الآمن لأي تيار تزيد فيه الكلوريدات عن 200 mg/L أو لهياكل RO. وتناسب PP أو FRP خدمات سائل التبريد المخفف تحت 60°C. أما الفولاذ الكربوني المبطن بالمطاط فيتعامل مع ملاطات SiC الكاشطة بأقل تكلفة، وهو مادة العمل الأساسية لخزانات الترسيب وصناديق المضخات وخطوط الملاط.
أكثر أخطاء المشتريات تسببًا في إعادة العمل هو تحديد حزمة MBR على النمط المحلي للتيار الكاشط الأولي. فقد صُممت أنظمة MBR للأحمال العضوية البلدية (COD 300–800 mg/L) التي تحتوي على أحياء دقيقة في السائل المختلط. وستؤدي مياه الصرف الناتجة عن التقطيع بتركيز 15,000 mg/L COD والمواد الصلبة الكاشطة إلى تمزيق ألياف الغشاء وزيادة الحمل على الكتلة الحيوية. احتفظوا بأنظمة MBR لمياه الصرف الخارجة من تنظيف الرقائق في المرحلة اللاحقة، واستخدموا خطًا فيزيائيًا-كيميائيًا مصنفًا بصورة صحيحة لحلقة التقطيع.
لمحة عن الامتثال: حدود مياه الصرف الناتجة عن التقطيع في عام 2026
تزداد الحدود التنظيمية تشددًا، وينبغي للمهندس معرفة الحد المطبق قبل الانتهاء من قائمة المعدات. وتغطي الولايات القضائية الثلاث التالية معظم البنية العالمية لمصانع رقائق الخلايا الكهروضوئية وأشباه الموصلات.
- الصين: يتطلب المعياران GB 39728-2020 وGB 30485 (مياه الصرف الخارجة لصناعة أشباه الموصلات) مواد صلبة عالقة ≤10 mg/L، وCOD ≤30 mg/L، وفلوريد ≤1.5 mg/L، ونيتروجين أمونيا ≤5 mg/L. وتُختبر المياه المعالجة الخارجة المتجهة إلى المسطحات المائية السطحية عند نقطة التصريف.
- الولايات المتحدة: يحدد الجزء 40 CFR Part 469 من لوائح وكالة حماية البيئة (المكونات الكهربائية والإلكترونية، فئة أشباه الموصلات) الحد الأقصى اليومي للمواد الصلبة العالقة عند 30 mg/L ومتوسط الفلوريد الشهري عند 4 mg/L، مع الإبلاغ عبر تصريح NPDES.
- الاتحاد الأوروبي: تستهدف تحديثات وثيقة BREF لعام 2023 لأشباه الموصلات إجمالي الكربون العضوي ≤10 mg/L والمواد الصلبة العالقة ≤5 mg/L لحلقات إعادة الاستخدام. وقد تفرض التراخيص المحلية حدودًا أكثر صرامة استنادًا إلى المسطح المائي المستقبل.
قد تواجه المصانع التي تصدر الرقائق إلى عملاء في الاتحاد الأوروبي بموجب قابلية التتبع على نمط CBAM أو عمليات تدقيق المعايير البيئية والاجتماعية والحوكمة حدودًا تعاقدية أقل من الحدود التي تفرضها اللوائح، لا سيما بالنسبة إلى الفلوريد وإجمالي المعادن الثقيلة. خططوا لمرحلة تلميع (UF + RO) بدل الاعتماد على الكيمياء وحدها، لأن الحد التنظيمي ينخفض بسرعة أكبر مما تستطيع معظم المصانع القديمة مواكبته.
الأسئلة الشائعة
ما الملوثات السائدة في مياه الصرف الناتجة عن تقطيع الرقائق؟ كاشط كربيد السيليكون (SiC)، ودقائق السيليكون الناتجة عن شق القطع، وسائل حامل من PEG أو الغليكول، إضافةً إلى المواد الخافضة للتوتر السطحي وحمض اللاكتيك أو حمض الستريك وآثار المعادن الناتجة عن التنظيف اللاحق. ويحمل سائل الحامل وإضافات التنظيف تقريبًا كامل حمل COD، وليس الكاشط.
هل يستطيع DAF وحده معالجة مياه الصرف الناتجة عن التقطيع؟ لا. فقد ثُبتت الغرويات سطحيًا لمقاومة التكتل؛ وسيمرر DAF من دون تخثير ما بين 70 و90% من المواد الصلبة. والحد الأدنى لخط المعالجة هو التخثير باستخدام PAC مع مادة تلبيد أنيونية، يليه DAF أو الترويق بالصفائح، ثم الترشيح بالوسائط أو UF.
ما معدل إعادة الاستخدام الواقعي في عام 2026؟ من 85 إلى 95% باستخدام خط كامل من UF + RO، ومن 70 إلى 80% باستخدام الترشيح بالوسائط فقط. ويمكن تحقيق نسبة 90% المتداولة على نطاق واسع في أدبيات القطاع في حالة الاستقرار، لكنها تتطلب مياهًا داخلة ثابتة وصيانة منضبطة.
كيف يُسترد SiC؟ بالترسيب أو، بصورة أكثر شيوعًا، باستخدام جهاز طرد مركزي أفقي يعمل عند 3,000–4,000 G. وتُغسل الكعكة الخارجة من الجزء السفلي لإزالة بقايا PEG ثم تُعاد إلى تحضير الملاط، مما يقلل شراء الكاشط الجديد بنسبة 15–25%.
ما الفرق بين مياه الصرف الناتجة عن التقطيع ومياه الصرف الناتجة عن التلميع الكيميائي الميكانيكي (CMP)؟ تهيمن على مياه الصرف الناتجة عن التقطيع مواد SiC وPEG، مع COD مرتفع ومواد صلبة كاشطة. أما مياه الصرف الناتجة عن CMP فتحتوي على السيليكا الغروية أو الألومينا أو السيريا مع مواد مؤكسدة (فوق أكسيد الهيدروجين وهيدروكسيد الأمونيوم) وCOD أقل بكثير. ويحتاج التياران إلى خطي معالجة منفصلين؛ فتطبيق خط التقطيع على مياه CMP يتجاهل مرحلة تدمير المواد المؤكسدة، بينما يؤدي تطبيق خط CMP على مياه التقطيع إلى تحميل زائد على مرحلة الأغشية بالمواد الكاشطة.
