لماذا تُعدّ معالجة مياه صرف مصانع الشرائح تحديًا فريدًا
يستهلك مصنع أشباه الموصلات الواحد ما بين ملايين وعشرات الملايين من الغالونات من المياه يوميًا، يُستهلك معظمها في صورة مياه فائقة النقاء (UPW) تُستخدم للشطف المتكرر بين خطوات التصنيع. ولأن إنتاج المياه فائقة النقاء يرفض بحد ذاته نسبة كبيرة من المياه الخام المغذية، فإن تيار الرفض الناتج عن وحدة UPW غالبًا ما يكون أكبر مصدر منفرد لمياه الصرف داخل الموقع، حتى قبل إضافة مصارف العمليات (Samco, 2025). إضافةً إلى ذلك، تحمل مصارف عمليات التصنيع في هذه المصانع خليطًا من الملوثات لا يتكرر بهذا الحجم في أي قطاع صناعي خفيف آخر: أحماضًا وقلويات قوية، ومعادن مذابة من عمليات الطلاء وحمولات الصقل الكيميائي-الميكانيكي (CMP)، وفلوريدًا من المواد الحاتّة، وأمونيوم من بقايا الترسيب بالبخار الكيميائي (CVD) ومن بقايا مقاوم التصوير الضوئي، ومواد عضوية متخصصة من مذيبات الطباعة الحجرية، ومواد صلبة عالقة ناعمة من مناولة الحمولات.
يؤدي خلط جميع هذه التيارات عند نهاية خط الصرف إلى مياه صرف مرتفعة في المواد الصلبة الذائبة الكلية (TDS) وفي المواد العضوية وفي الفلوريد وفي المعادن في الوقت ذاته، وهو ما يجعل معالجتها تيارًا واحدًا مكلفًا جدًا. ولذا فإن النهج المعتمد، كما يوضحه كلٌّ من العرض الصناعي لشركة Samco (2025) وإفصاحات مواقع إنتل، يقوم على فصل تيارات النفايات عند المصدر ومعالجة كل تيار بعملية وحدة موجَّهة، ثم تنقية مياه الشطف السائبة لإعادة استخدامها. وتُعدّ الورقة البيضاء لإنتل عام 2019 بعنوان الاقتصاد الدائري في تصنيع أشباه الموصلات المرجع العملي لهذا التصنيف: مذيبات الطباعة الحجرية، ونفايات طلاء المعادن، والمنظفات القاعدية المتخصصة، وحمض الكبريتيك المستنفد، وكبريتات الأمونيوم، وفلوريد الكالسيوم، وهي قائمة التيارات التي تتطابق عمليًا مع عمليات الوحدة الموضحة في بقية هذا المقال.
استراتيجية إنتل المائية ذات الأعمدة الثلاثة
تعهدت إنتل بتحقيق صافي إيجابي للمياه بحلول عام 2030، ويقصد به إعادة أكثر من 100% من استهلاكها من المياه العذبة عبر الجمع بين الترشيد داخل المصنع، والاستصلاح في الموقع، واستعادة أحواض المياه بتمويل من جهات خارجية (تقرير تقدّم استعادة المياه لعام 2023 الصادر عن إنتل، المنشور في مارس 2024). ويُنفَّذ هذا التعهد من خلال ثلاثة أهداف وردت في التقرير ذاته: تقليل المياه المستخدمة في العمليات عبر مشاريع ترشيد، واستصلاح المياه داخل العمليات من خلال استثمارات ضخمة في مرافق معالجة مياه حديثة، واستعادة المياه إلى الأحواض المائية بالتعاون مع المجتمعات المحلية.
بحلول نهاية عام 2023، أعلنت إنتل عن استعادة 3,141 مليون غالون سنويًا (MGY) من المياه عبر 44 مشروعًا حول العالم، مع تحقق صافي إيجابي للمياه فعلًا في الولايات المتحدة والهند وكوستاريكا والمكسيك. وشملت إضافات عام 2023 مشروع المرحلة الثانية لحماية غابة أغوا تيكا في كوستاريكا (71.3 MGY، نفّذته مؤسسة Fundecor)، وبرنامجًا لجمع مياه الأمطار في 86 مدرسة بمدينة هو تشي منه في فيتنام (17.2 MGY، نفّذته منظمة CLEAN International، على أن تبدأ فوائده في 2024). وتقاس فوائد استعادة الأحواض المائية بواسطة الاستشاري الخارجي LimnoTech وفق منهجيات Rozza et al. (2013) وWRI Reig et al. (2019) المُعدّة بالتعاون مع منظمة The Nature Conservancy.
بالنسبة إلى المهندس الذي يصمم خط عمليات، يُرسم الحد الفاصل على النحو التالي: تغطي «الأعمدة الثلاثة» الترشيد والمعالجة داخل المصنع والاستعادة خارجه، لكن عمليات الوحدة التي تعالج مياه الصرف فعليًا تقع بالكامل في العمود الثاني. وينحصر نطاق ما تبقى من هذا المقال في العمود الثاني، مع تناول استرجاع المنتجات الثانوية (الذي يقع بين العمودين الثاني والثالث) في قسم مستقل.
خط معالجة مياه صرف المصنع، تيارًا تيارًا
يُقرأ خط عمليات إنتل على أفضل نحو باعتباره خمسة فروع منفصلة تتلاقى على مجمع استصلاح مركزي، مع اختلاف عمليات الوحدة في كل موقع بحسب ما ينتجه كل مصنع. ويجمع التصنيف أدناه إفصاحات المعالجة المسبقة لمصنع FAB28 (كريات غات، إسرائيل) الواردة في صفحة الموقع exploreintel.com لعام 2012، ودراسة حالة وكالة حماية البيئة الأمريكية لموقع أوكوتيلو في أريزونا، وبرامج الاسترجاع في أوريغون وأريزونا الواردة في الورقة البيضاء لإنتل (نوفمبر 2019)، وإفصاحات الاقتصاد الدائري في أيرلندا الواردة في الورقة البيضاء ذاتها.
نفايات النحاس وCMP. في مصنع FAB28 في إسرائيل، تُفصل النفايات الحاملة للنحاس وتعالج في نظام معالجة مسبقة مخصص لفضلات النحاس يتضمن موازنة درجة الحموضة لمياه الصرف الصناعي، قبل أن يدخل التيار إلى مرفق مخصص لمعالجة مياه الصرف والاسترجاع يتولى الحمل العضوي. وفي أوريغون، أضافت إنتل وحدة طلاء كهربائي في الموقع تُباع بفضلاتها نحاس خردة بدلًا من نقلها، وفي عام 2019 كان الموقع يتوقع إرسال أكثر من 600 طن من نفايات أحواض طلاء المعادن إلى مرافق الموردين لاسترجاعها إلى سوق السلع (الورقة البيضاء لإنتل، نوفمبر 2019).
مياه الصرف الحاملة للأمونيوم. تُقلل معالجة الأمونيوم من حمل النيتروجين المُرسل إلى محطات المعالجة البلدية (POTWs)، في حين يُحوَّل منتج كبريتات الأمونيوم الثانوي إلى صناعة الأسمدة. وترسل مواقع أوريغون وأريزونا كبريتات الأمونيوم إلى الأسمدة منذ عام 2013، بما تراكم عنه أكثر من 35,000 طن؛ وانضمت أيرلندا لاحقًا إلى إرسال كبريتات الأمونيوم لديها إلى الأسمدة أيضًا.
تيارات الفلوريد والكالسيوم. يُرسَّب فلوريد الكالسيوم من النفايات الحاملة للفلوريد، ويُحوَّل من المكب إلى صناعة المنتجات الإسمنتية في أيرلندا، ويُستخدم غطاءً بديلًا يوميًا في مكب محلي لمصنع FAB28 في كريات غات. وتُذكر معالجة فلوريد الأمونيوم صراحةً كخطوة معالجة مسبقة في مصنع FAB28. ويتوفر للمهندسين الذين يحددون مواصفات هذا الفرع مزيد من التفاصيل في دليل معالجة مياه الصرف المحتوية على الفلوريد.
المواد العضوية ومذيبات الطباعة الحجرية. يُمارَس تقطير واسترجاع مذيبات الطباعة الحجرية لإعادة بيعها في أيرلندا؛ وتُوجَّه المنظفات القاعدية المتخصصة إلى مزج الوقود. وتذكر الورقة البيضاء لإنتل أيضًا استرجاع سيكلوهيكسانون ودمج مخففات الدهان باعتبارهما فرصتين حاليتين أو قريبتين.
مياه الشطف السائبة ورفض UPW. يتخذ هذا الفرع عادةً شكل خط الترشيح الفائق (UF) ← التناضح العكسي (RO) ← التبادل الأيوني/الديونزة (IX/DI) لإنتاج مياه صالحة لإعادة الاستخدام داخل المصنع، ومياه بجودة الشرب لإعادة شحن الخزان الجوفي في موقع أوكوتيلو. وتستخدم مرحلة التنقية النهائية في مواقع إنتل تصحيح الأس الهيدروجيني وترشيحًا نهائيًا قبل إعادة الاستخدام أو التصريف، مع تطبيق أفضل التقنيات المتاحة على التحكم في الانبعاثات الهوائية وموازنة الأس الهيدروجيني لمياه الصرف الصناعي.
| التيار | عملية الوحدة | القيد التشغيلي الرئيسي | وجهة إعادة الاستخدام |
|---|---|---|---|
| نفايات النحاس / CMP | فصل عند المصدر، وموازنة الأس الهيدروجيني، وتبادل أيوني أو ترسيب، وترشيح بالوسط الحبيبي | استقرار حوض الطلاء، ومردود استرجاع المعادن | بيع الخردة المعدنية؛ استرجاع إلى سوق السلع (أوريغون) |
| مياه الصرف الحاملة للأمونيوم | تجريد الأمونيا أو نترجة بيولوجية، وتبلور الكبريتات | النيتروجين المتبقي إلى POTW | كبريتات الأمونيوم إلى الأسمدة (أكثر من 35,000 طن منذ 2013، أوريغون + أريزونا؛ وأيرلندا أيضًا) |
| تيارات الفلوريد / الكالسيوم | ترسيب الكالسيوم، ونزع الماء عن المواد الصلبة | ذوبانية الفلوريد، ومناولة الحمأة | فلوريد الكالسيوم إلى الإسمنت (أيرلندا)؛ غطاء بديل يومي (إسرائيل FAB28) |
| مذيبات الطباعة الحجرية / المنظفات القاعدية | تقطير، واسترجاع المذيبات، ومزج الوقود | نقاء المذيبات، وإدارة قابلية الاشتعال | إعادة البيع كمذيب مسترجع؛ منتج مزج وقود (أيرلندا) |
| الشطف السائب / رفض UPW | UF ← RO ← IX/DI، وتصحيح الأس الهيدروجيني | السيليكا، وTDS، والمواد العضوية منخفضة الوزن الجزيئي؛ تلوث الأغشية | إعادة الاستخدام داخل المصنع (أجهزة غسل الغازات، وأبراج التبريد)؛ شحن الخزان الجوفي (أوكوتيلو) |
داخل موقع أوكوتيلو: التصميم المرجعي لإعادة استخدام المياه في المصانع
يُعدّ حرم أوكوتيلو التابع لإنتل في تشاندلر بولاية أريزونا المعيار الأكثر توثيقًا في السجلات العامة، والتصميم الذي يمثله هو ما يُقاس به أي مصنع جديد يقع في حوض مائي شحيح المياه. وتتمثل الأرقام الرئيسية من دراسة حالة وكالة حماية البيئة الأمريكية في: نحو 5.2 مليون غالون يوميًا (MGD) من المياه المُحافظ عليها، وما يصل إلى 75% من المياه المُعاد استخدامها، وأكثر من 3.5 مليار غالون من المياه بجودة الشرب أُعيدت إلى الخزان الجوفي منذ بدء تشغيل مرفق تشاندلر لإعادة الشحن بالتناضح العكسي. وتقدّر دراسة الحالة الأثر بأنه «يُعاد استخدام ما يصل إلى 75% من المياه»، مع قياس رقم شحن الخزان الجوفي البالغ 3.5 مليار غالون من بدء المشروع وحتى فترة دراسة الحالة (دراسة حالة المنطقة 9 لوكالة حماية البيئة الأمريكية، لقطة عام 2017).
يرتكز التصميم على ثلاث مبادرات. مرفق تشاندلر لإعادة الشحن بالتناضح العكسي، الذي تموله وتديره إنتل بالشراكة مع مدينة تشاندلر، يعالج مياه الصرف الصناعي من مصانع أوكوتيلو وصولًا إلى معايير مياه الشرب ويُعيد شحن الخزان الجوفي. ويعيد برنامج إعادة استخدام مياه صرف POTW توجيه جزء من مياه الصرف المعالجة في المدينة لاستخدامه في أجهزة غسل الغازات وأبراج التبريد وتنسيق المواقع وري المحاصيل العلفية، بما تجاوز 876 مليون غالون أُعيد استخدامه في عام 2007 وحده. وحقق برنامج الإدارة الصناعية للمياه (IWM) الداخلي في مصنع Fab 22، الذي يشمل استصلاح مياه العمليات والمرافق لتغذية معدات كانت ستستهلك المياه العذبة من شبكة المدينة، توفيرًا إضافيًا قدره 385 مليون غالون في عام 2007.
سبب اعتبار أوكوتيلو الموقع المرجعي: يقع في حوض حار وقاحل وشحيح المياه، حيث تُعدّ إعادة الاستخدام ضرورة ترخيصية وإمدادية لا خيارًا للمسؤولية الاجتماعية، وحيث تحققت وكالة حماية البيئة الأمريكية بشكل مستقل من معدل إعادة الاستخدام وحجم إعادة الشحن. ويُقاس فعليًا أي مصنع جديد في حوض مائي مقيد، سواء في فينيكس أو كريات غات أو هسينتشو، مقابل غلاف التصميم هذا البالغ نحو 75% من إعادة الاستخدام مع تنقية بالتناضح العكسي إلى جودة مياه الشرب.
استرجاع المنتجات الثانوية: نفايات المصنع كمادة أولية دائرية
يبدأ استرجاع المنتجات الثانوية بتحويل إدارة المياه في المصنع من تكلفة امتثال إلى بند في ميزانية الاقتصاد الدائري. ويُعدّ برنامج حمض الكبريتيك المستنفد في أريزونا أوضح دراسة حالة اقتصادية. بدأت إنتل بجمع نفايات حمض الكبريتيك من عملية التنظيف الرطب في عام 2017، وكان يُوجَّه في البداية إلى التثبيت فحسب ثم إلى المكب. وبحلول أغسطس 2018، أصبح الحمض المستنفد يُرسل إلى خارج الموقع للتنقية وصولًا إلى الدرجة التقنية، مع إعادة جزء منه إلى أنظمة معالجة مياه الصرف في أريزونا ونيو مكسيكو التابعة لإنتل لإعادة استخدامه داخل الموقع. ومنذ أغسطس 2018، حُوّل نحو 3,000 طن من النفايات الخطرة بعيدًا عن المكب، مع توجه الموقع إلى تجاوز 4,300 طن في عام 2019، وتوفير يُقدَّر بـ 700,000 دولار أمريكي في تكاليف التخلص على مدى ثلاث سنوات (الورقة البيضاء لإنتل، نوفمبر 2019).
وتُمثّل نفايات طلاء المعادن الخط الثاني. مع تشغيل الطلاء الكهربائي في الموقع في أوريغون، يُرسل أكثر من 600 طن سنويًا من نفايات أحواض الطلاء إلى مرافق الموردين حيث يُسترجع النحاس ويُعاد إلى سوق السلع. وتُسترجع مذيبات الطباعة الحجرية والمنظفات القاعدية المتخصصة عبر التقطير لإعادة بيعها في أيرلندا، في حين تُوجَّه المنظفات القاعدية المتخصصة إلى مزج الوقود. وتُكمل كبريتات الأمونيوم وفلوريد الكالسيوم لوحة الكميات: أكثر من 35,000 طن من كبريتات الأمونيوم إلى الأسمدة (أوريغون وأريزونا منذ 2013)، وفلوريد الكالسيوم إلى صناعة المنتجات الإسمنتية في أيرلندا، وفلوريد الكالسيوم إلى غطاء بديل يومي في مكب في كريات غات بإسرائيل. وتضيف شركة Samco (2025) السياق الصناعي الأوسع: يمكن لمعالجة مياه مصانع الشرائح أيضًا استرجاع السيليكون والفلوريد والنحاس وكحول الأيزوبروبيل لإعادة الاستخدام الداخلي، بحسب خليط العمليات.
بارامترات العمليات وانعكاساتها على المعدات للمهندسين
تنقسم انعكاسات المعدات في خط عمليات إنتل إلى ثلاث عائلات. بالنسبة إلى فرع الشطف السائب ورفض UPW، يتمثل الواجب النموذجي في تنقية محدودة السيليكا وTDS مع آثار من المواد العضوية منخفضة الوزن الجزيئي، وهو غلاف التشغيل المناسب لـ أنظمة التناضح العكسي الصناعي يسبقها ترشيح فائق بألياف مجوفة كمرشح وقائي. ويُضبط مردود التناضح العكسي على مياه شطف المصانع عادةً في نطاق 75-90% للموازنة بين تكلّس الأغشية ومردود إعادة الاستخدام، مع تنقية IX/DI في المصب عند الحاجة إلى إعادة الاستخدام بدرجة UPW.
أما في فرع النحاس وCMP، فتتمثل التنقية النموذجية في تبادل أيوني أو ترسيب يليه ترشيح بالوسط المتعدد؛ ويمثّل التحكم في الأس الهيدروجيني عند رأس الفرع أهم بارامتر تشغيلي، وعادةً ما تُحدَّد فئة المعدات نظام حقن كيميائي بتحكم PLC للحفاظ على نافذة الأس الهيدروجيني الضيقة التي تتطلبها خطوات إزالة المعادن في المصب. وبالنسبة إلى مسار المواد العضوية وخفض اللون وTDS، تُعدّ الامتزاز على الكربون النشط والأكسدة (غالبًا بالبيروكسيد أو الأوزون) خطوات وقائية قياسية أمام أي فرع RO أو IX، ولا توجد جرعة واحدة تناسب جميع تركيبات المصانع.
| تيار المصنع | عملية الوحدة الأساسية | عائلة المعدات النموذجية | اعتبار تصميمي للمهندسين |
|---|---|---|---|
| رفض UPW / الشطف السائب | UF ← RO ← IX/DI | UF بألياف مجوفة؛ RO للمياه قليلة الملوحة؛ IX بسرير مختلط | تكلّس السيليكا، ومردودية مقابل التخلص من المركز، واختيار مادة الغشاء |
| نفايات النحاس / CMP | ضبط الأس الهيدروجيني ← IX أو ترسيب ← مرشح وسطي | حقن كيميائي آلي، وأوعية تبادل أيوني، ومرشحات وسط متعدد | استقرار نافذة الأس الهيدروجيني، واسترجاع المعادن مقابل مردود الحمأة، وكيمياء الحوض |
| الأمونيوم / الفلوريد | تجريد أو نترجة حيوية ← استرجاع الكبريتات؛ ترسيب الكالسيوم | عمود تجريد بالهواء أو MBBR؛ مُبلْوِر؛ مروّق | النيتروجين المتبقي إلى POTW، ونزع الماء عن CaF2، ونقاء المنتج الثانوي |
| المواد العضوية / المذيبات | تقطير، وامتزاز كربوني، وأكسدة متقدمة | مقطّرات مذيبات، وأوعية GAC، ومفاعلات أوزون أو AOP | قابلية الاشتعال، ونقاء المذيبات لإعادة البيع، والتحكم في التلوث على RO في المصب |
| التنقية النهائية | تصحيح الأس الهيدروجيني ← ترشيح نهائي | قواعد حقن، ومرشحات خرطوشة أو كيسية | توجيه التصريف مقابل إعادة الاستخدام، والمراقبة والاتصالات عن بُعد |
لمزيد من التعمق في كيفية تطابق عمليات الوحدة هذه مع تصميم استصلاح مياه صناعة الإلكترونيات الدقيقة بمردود يتجاوز 99% وبنظام ZLD، اطّلعوا على دليل المواصفات الهندسية لاستصلاح مياه صرف الإلكترونيات الدقيقة.
كيف يقارن نهج إنتل بالقطاع في 2026
تُقدّر شركة Samco (2025) أن مرافق تصنيع الشرائح يمكنها الوصول إلى مردود استصلاح يبلغ نحو 60% من خلال إعادة توجيه التيارات المستنفدة إلى استخدامات مصب أقل تطلبًا كالتبريد. ويأتي معدل إعادة الاستخدام البالغ نحو 75% المُوثّق لموقع أوكوتيلو التابع لإنتل أعلى بفارق ملموس من هذا الغلاف التشغيلي المعتاد، ويُحقق بخطوة إضافية هي التنقية بالتناضح العكسي إلى معايير مياه الشرب لإعادة شحن الخزان الجوفي. ويؤكد سياق القطاع في عام 2026 اتجاه المسار: أعلنت سامسونغ في 11 سبتمبر 2026 خلال KIWW في داegu عن خطة لإعادة استخدام 330,000 طن يوميًا من مياه الصرف المعالجة في مصانعها الكورية، فيما أعلنت SK Hynix علنًا عن تحقيقها أرقامًا قياسية في إعادة تدوير المياه في مواقعها الكورية (انظروا خطة سامسونغ لإعادة استخدام 330,000 طن يوميًا في مصانعها).
مع التزام إنتل بتحقيق صافي إيجابي للمياه بحلول 2030، فضلًا عن تشديد القيود على الأحواض المائية في أريزونا وإسرائيل وأوريغون، فإن خطوتي التصميم التاليتين لأي مصنع في حوض مائي تحت الضغط هما: نظام ZLD (التصريف الصفري للسائل)، والتنقية بالتناضح العكسي في الموقع لإعادة توجيه المياه إلى خطوط إعادة الاستخدام، مع التعامل مع استرجاع المنتجات الثانوية (حمض الكبريتيك، والنحاس، وكبريتات الأمونيوم، وفلوريد الكالسيوم) باعتباره خط إيرادات أساسيًا لا مجرد بند امتثال.
الأسئلة الشائعة
ما النسبة التي تُعيد إنتل استخدامها من مياه المصنع؟
تصل إلى 75% في حرم أوكوتيلو في تشاندلر بأريزونا، استنادًا إلى دراسة حالة كفاءة المياه للمنطقة 9 في وكالة حماية البيئة الأمريكية، التي تُقدّر نحو 5.2 مليون غالون يوميًا مُحافظ عليها، وأكثر من 3.5 مليار غالون من المياه المُنقاة بالتناضح العكسي أُعيدت إلى الخزان الجوفي منذ بدء المشروع.
كيف تتحول مياه صرف المصنع إلى مياه شرب في إنتل؟
عبر مرفق تشاندلر لإعادة الشحن بالتناضح العكسي، الذي يعالج مياه صرف عمليات المصنع وصولًا إلى معايير مياه الشرب ويُعيد شحن الخزان الجوفي بالشراكة مع مدينة تشاندلر.
ما مصير المنتجات الثانوية من معالجة مياه صرف المصنع؟
تُرسَل كبريتات الأمونيوم إلى صناعة الأسمدة (أكثر من 35,000 طن منذ 2013 من أوريغون وأريزونا، مع إرسال أيرلندا أيضًا مواد إلى الأسمدة). ويُرسَل فلوريد الكالسيوم إلى صناعة المنتجات الإسمنتية في أيرلندا، ويُستخدم غطاءً بديلًا يوميًا في مكب في كريات غات. ويُنقَّى حمض الكبريتيك المستنفد من أريزونا خارج الموقع وتُعاد جزء منه إلى معالجة مياه الصرف داخل الموقع، مع تحويل نحو 3,000 طن بعيدًا عن المكب منذ أغسطس 2018. ويُسترجع النحاس من نفايات أحواض الطلاء في أوريغون ويُعاد إلى سوق السلع.
أي موقع من مواقع إنتل يُعدّ المعيار المرجعي لإعادة استخدام المياه في المصانع؟
موقع أوكوتيلو (تشاندلر، أريزونا)، لأن معدل إعادة الاستخدام البالغ نحو 75% المُوثّق من وكالة حماية البيئة وحجم إعادة شحن الخزان الجوفي يجعلانه التصميم المرجعي الأكثر تحديدًا كميًا، ولأنه يقع في حوض مائي حار وقاحل وشحيح المياه حيث تُعدّ إعادة الاستخدام ضرورة ترخيصية وإمدادية.
ما عمليات الوحدة التي تستخدمها خطوط معالجة مياه صرف المصانع عادةً؟
الترشيح الفائق (UF)، والتناضح العكسي (RO)، والتبادل الأيوني أو الديونزة لفرع الشطف ورفض UPW؛ وموازنة الأس الهيدروجيني والتبادل الأيوني أو الترسيب والترشيح بالوسط الحبيبي لفرع النحاس/CMP؛ وتجريد الأمونيا أو النترجة البيولوجية مع استرجاع الكبريتات لفرع الأمونيوم؛ وترسيب الكالسيوم لفرع الفلوريد؛ والتقطير والكربون النشط والأكسدة لفرع المواد العضوية، مع ربط الخط ككل بأنظمة مناولة الحمأة والحقن الكيميائي.
